設備だけでは精度、品質ともに限界があります。
長年の経験、豊富なノウハウ、柔軟な発想での技術開発を融合させ実現した、
超薄膜研磨加工技術・超微細加工技術・溶接加工技術を得意としています。
図面を基に設計、開発段階からお客様のご要望、ご相談にお応えいたします。
研磨
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超薄膜研磨加工
厚み8μm（~φ20）
多層膜蒸着後、全体厚10~20μm《用途》シンクロトロン放射光装置用石英ガラス部品
構造解析用X線装置用石英ガラス部品
レーザー用カバーガラス
水晶振動子 -
高精度平行平面研磨加工
厚み公差±1μm（~φ100）
《用途》成膜用石英ガラス基板
計測用石英ガラス評価基板
光透過用石英ガラス基板 -
大口径研磨加工
~φ3000（2142角）
《用途》石英ガラスターゲット材
大型石英ガラス基板
大型装置用覗き窓
研削
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高精度円筒研削・研磨加工
~φ500
~3100l《用途》光ファイバー用石英ガラス母材
ライトガイド
ターゲット棒
偏光ビームスプリッター
穴あけ
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穴あけ加工
φ0.1mm~
《用途》シャワープレート
フローセル
石英セル
シリコンのザグリ加工 -
ロッド加工
φ0.4mm~
《用途》光ファイバー
光学・研究用ロッド -
円板加工
《用途》平板から円板や異形状のくり抜き加工
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レーザー加工
《用途》微細貫通穴加工
切断加工
溶接
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石英ガラス溶接加工技術
《用途》半導体・液晶製造工程で使用される
各種石英ガラス治具
（ボート/プレート/炉心管/キャリア/石英槽）
再生
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基板再生研磨加工
《用途》表面のパターンや電極を保護しながらの
裏面研磨加工 -
サイズダウン
《用途》シリコンウエハのサイズダウン
各種ウエハのチップ化 -
溶接修理加工
《用途》半導体・液晶製造工程で使用される
各種石英ガラス治具の修理
（ボート/プレート/炉心管/キャリア/石英槽）
成膜
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成膜
《用途》蒸着、スパッタリング加工による成膜加工
（成膜例：Au , Pt , Ag , Ti , A l, Cr , ITO , SiO2その他各種合金等） -
成膜加工物質一覧
その他加工
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総合加工
《用途》研磨・切削・研削・溶接加工を組み合わせた総合加工
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総合加工
《用途》石英ガラス・光学ガラスに関わる
孔あけ加工、段付け加工、溝切り加工、内外面切削加工やネジ切り加工など様々な形状加工
