Quartz tank「AMSSO」AMSSO
石英製洗浄槽一例
ハイスピード洗浄槽「AMSSO」工程フロー
日本国特許 第4932818号
アムソーの仕組み
未鏡面研磨品では研削痕の凹凸が残留し、超音波エネルギーが減衰してしまうが、鏡面研磨石英槽は表面状態が鏡面であることから、超音波エネルギーの減衰がほとんどなく、短時間で効率的な洗浄が可能になる。
● 未鏡面研磨石英槽
● 鏡面研磨石英槽
未鏡面研磨石英槽と鏡面研磨石英槽の超音波パワー測定結果
テスト内容
超音波メーター（ＳＭ1000型）を使用し、未鏡面研磨石英槽と鏡面研磨石英槽のパワーの差を測定しました。洗浄機本体パワーを100％とした時、鏡面研磨石英槽は４％減、未鏡面研磨石英槽は１７％減で、鏡面研磨石英槽の方がより効果的に洗浄できます。
Ｐｓｉ＝pounds per square inch （重量ポンド毎平方インチ）
kgf/cm2＝重量キログラム毎平方センチメートル
◆ 未鏡面研磨石英槽
◆ 鏡面研磨石英槽
未鏡面研磨石英槽と鏡面研磨石英槽の蛍光法による洗浄テスト結果
超音波の波長から判断すると1波長数十μある為、透過率の影響は低いと考えるがメガヘルツクラスの超音波振動子を使用すると、液面が盛り上がる事からマイクロバブルが多く発生していると思われます。
超音波洗浄装置断面図
